ETUDE PHYSICO-CHIMIQUE ET ELECTRIQUE DES CONTACTS ITO/SILICIUM POLYCRISTALLIN POUR LA REALISATION DE TRANSISTORS EN COUCHES MINCES
by NAIMA.. ELASSALI
1992150 pages
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CE TRAVAIL A POUR OBJECTIF PRINCIPAL L'ETUDE DES CONTACTS ENTRE LE SILICIUM POLYCRISTALLIN DOPE PHOSPHORE ET L'ITO (INDIUM TIN OXIDE) EN VUE DE LA REALISATION DE TRANSISTORS EN COUCHES MINCES. LA TECHNOLOGIE DEVELOPPEE AU CNET IMPOSE LA MISE AU POINT DE CONTACTS OHMIQUES ENTRE L'ITO ET LE SILICIUM…
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